Ruský jazyk

Diffuziq primesej w poluprowodnikah

Vydavateľstvo: LAP LAMBERT Academic Publishing
Rok vydania: 2011
Formát: Paperback
Rozmer: 220 x 150 mm
Jazyk: Ruský jazyk
ISBN: 9783843314565

Na objednávku

57.67 €

bežná cena: 60.70 €

O knihe

V sowremennom poluprowodnikowom proizwodstwe tehnologicheskie processy harakterizuütsq malymi dlinami i korotkimi wremenami, chto zachastuü priwodit k wozniknoweniü nerawnowesnyh uslowij, takih kak narushenie lokal'noj älektronejtral'nosti (JeN), otklonenie ot rawnowesiq w kwazihimicheskih reakciqh mezhdu primesqmi, defektami i ih komplexami, obrazowanie nerawnowesnyh koncentracij sobstwennyh tochechnyh defektow (STD), kontroliruüschih diffuziü. V rabote predstawleny rezul'taty issledowaniq sowmestnoj diffuzii ionizowannyh primesej pri narushenii lokal'noj JeN; diffuzii primesi w uslowiqh narusheniq rawnowesiq po STD; getterirowaniq zagrqznqüschej primesi odnorodno i neodnorodno legirowannymi sloqmi, a takzhe getterirowaniq primesi, diffundiruüschej po mehanizmu wytesneniq. Awtorami podrobno rassmotreny suschestwuüschie matematicheskie modeli diffuzii i metody resheniq diffuzionnyh urawnenij. Kniga budet polezna kak studentam i aspirantam tak i professionalam w oblasti poluprowodnikowogo proizwodstwa pri razrabotke programm fiziko-tehnologicheskogo modelirowaniq, a takzhe pri raschöte tehnologicheskih processow izgotowleniq IMS ili silowyh priborow.