Ruský jazyk

Obrabotka plenki PZT

Vydavateľstvo: Sciencia Scripts
Rok vydania: 2024
Formát: Paperback
Rozmer: 220 x 150 mm
Jazyk: Ruský jazyk
ISBN: 9786207015085

Na objednávku

50.85 €

bežná cena: 56.50 €

O knihe

V poslednie chetyre desqtiletiq razwitie mikroälektronnoj promyshlennosti zadalo trend na proizwodstwo swerhtonkih (s nanometricheskoj mikrostrukturoj) i swerhchistyh (bez primesej i defektow) materialow, garantiruüschih powyshenie funkcional'noj äffektiwnosti ih detalej pri minimal'no wozmozhnom ob#eme. Obschaq cel' dannoj raboty zaklüchalas' w sinteze (osazhdenii i otzhige) ferroälektricheskih plenok titanata swinca (TTS), osazhdennyh na podlozhku Pt/Ti/SiO2/Si <100>. V swqzi s wysheizlozhennym ispol'zowalsq metod CVD-AA. Kak prawilo, dlq takogo tipa plenok otzhig qwlqetsq neobhodimym ätapom dlq polucheniq zhelaemoj perowskitnoj (ferroälektricheskoj) fazy. Rabota wklüchaet w sebq sootwetstwuüschij termograwimetricheskij analiz, a takzhe kristallograficheskuü i mikrostrukturnuü harakteristiku. Sredi poluchennyh rezul'tatow mozhno otmetit', chto plenki obladaüt horoshej himicheskoj i strukturnoj odnorodnost'ü na mikrometricheskom urowne, fazy, prisutstwuüschie w plenkah, sootwetstwuüt zhelaemym, gde nablüdaütsq ferroälektricheskie domeny.