• Nemecký jazyk

Vakuumbeschichtung

Autor: Klaus Röll

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).

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Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).

  • Vydavateľstvo: Springer Berlin Heidelberg
  • Rok vydania: 2012
  • Formát: Paperback
  • Rozmer: 244 x 170 mm
  • Jazyk: Nemecký jazyk
  • ISBN: 9783642633980

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